(1)對檢查出缺陷的大小進行分類與缺陷大小的個數判定合格與否。   

(2)對基板上每個Chip都會進行判別，判定出Chip的好壞。  

 (3)當Mask Chip的時候就不會進行Chip判別。 

 (4)可設定不合格的Chip數量來判定玻璃基板合格與否。  

 (5)共通缺陷資料之處理。