(1)對檢查出缺陷的大小進行分類與缺陷大小的個數判定合格與否。
(2)對基板上每個Chip都會進行判別，判定出Chip的好壞。
(3)當Mask Chip的時候就不會進行Chip判別。
(4)可設定不合格的Chip數量來判定玻璃基板合格與否。
(5)共通缺陷資料之處理。
產品介紹:
| Glass size | ~G10.5 (3370*2940) |
| 檢測能力 | > 3um RGB 內層異物檢出 |
| 功能 | 偏光片自動旋轉 上下層可替換式偏光片結構 Review 系統 成盒後膠寬量測 RGBW 複合式燈箱 |
| 優勢 | 物理特徵分類 不良個數統計 RGB 分別統計 |