自動晶圓光學檢測 WAFER AOI

本設備式判定WAFER 前段製程中合格與否之自動檢查機。

包括檢出製程後Pattern loss 、汙染、刮傷、Pin Hole 、凸點、Particle 及表面狀態等缺陷之檢測系統，以因應客戶製程品質、效率之需求。